Вакуумный пост ВН 2000

Вакуумный пост ВН 2000
Рейтинг: 
No votes yet
Производитель: 
Категория: 
  • Описание
  • Доставка
  • Отзывы и Вопросы(0)
  • Вакуумный пост ВН 2000 предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.

    Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники.

    Прибор предназначен для эксплуатации в стационарных лабораторных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25 °С и относительной влажности не более 80%. Наличие в помещении агрессивных паров недопустимо.

    Конструктивные особенности

    Питание прибора осуществляется от трехфазной сети переменного тока напряжением 220/380 В, частотой 50 Гц.

    • Остаточное давление в высоковакуумном объеме пpи охлаждении ловушки жидким азотом 1,3 х 10-4 Па.
    • Остаточное давление в высоковакуумном объеме при охлаждении ловушки водой 1,3 ? 10-3 Па.
    • Ток накала испарителей 200 А.
    • Температура столика для нагрева объектов 1100°С.
    • Температура столика для охлаждения объектов, °С, минус 160.
    • Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя 7 кВ.
    • Максимальный ток тлеющего разряда 47 мА.
    • Максимальное напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя источника питания магнетрона, кВ, не менее 0,9.
    • Максимальный ток магнетрона, мА, не менее 300.
    • Температура в районе подложки устройства для осаждения пленок не менее 300°С. Время нагрева не более 30 мин.
    • Время смены подложек не более 7 с, скорость вращения подложек не менее 0,5 с -1.
    • Заслонка устройства смены подложек обеспечивает перекрытие потока испаряемого вещества от испарителя к подложкам.
    • Устройство дискретного испарения обеспечивает подачу на испаритель в процессе испарения измельченного вещества.
    • С помощью пультов управления обеспечивается выход в рабочий режим вакуумной системы из холодного состояния, и коммутация вакуумной системы во время работы.

    Магнитораспыляющая система обеспечивает:

    • универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
    • высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
    • сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
    • получение особо чистых пленок;
    • высокую адгезию пленок и подложки;
    • возможность изменения структуры и свойств пленок;
    • распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
    • низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
    • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
    • высокую энергетическую эффективность процесса;
    • использование для осаждения и травления широкого класса материалов.
    Технические характеристики

    Диаметр мишени, мм

    40

    Максимальный диаметр подложки, мм

    70

    Питание магнетрона: максимальный ток, мА

    350

    Напряжение высоковольтного выпрямителя, кВ

    1

    Масса прибора, кг

    300

    Габаритные размеры, мм, не более: длина

    540

    ширина

    910

    высота

    1550

    Потребляемая мощность без приставок, кВА, не более

    1,9

    Максимальная потребляемая мощность, кВА, не более

    5

    Вакуумный пост ВН 2000 доставляются следующими ТК:

    • ТК Деловые линии
    • ПЭК
    • КИТ
    • Желдорэкспедиция
    • Почта России

    Стоимость доставки до терминала ТК - бесплатно

    Срок доставки в Белгород - от 1 дня

    Расчимтать стоимости доставки в другой город можно по ссылке

    Добавить комментарий

    HTML-Format-otkluchen

    • Адреса страниц и электронной почты автоматически преобразуются в ссылки.
    • Строки и параграфы переносятся автоматически.

    Plain text

    • HTML-теги не обрабатываются и показываются как обычный текст
    • Адреса страниц и электронной почты автоматически преобразуются в ссылки.
    • Строки и параграфы переносятся автоматически.