Установка вакуумного напыления ВН-2000 (-08)

Средняя: 3.5 (2 оценка)
Производитель: 

Под заказ

  • Описание
  • Доставка
  • Отзывы и Вопросы(0)
  • Установка вакуумного напыления ВН-2000 (-08), как и ее аналог предыдущего ВН-2000, предназначена для получения вакуума в рабочем объеме, нанесения пленок в вакууме из проводящих, полупроводниковых и диэлектрических материалов методом магнетронного, резистивного и электронно - лучевогого распыления, а также для травления материалов в плазме (в зависимости от комплекта поставки).

    Конструктивные особенности

    Установка может быть применена для исследования в области физики, химии, биологии, медицине, материаловедении, микроэлектроники и других отраслях, а также отработки отдельных технологических операций по напылению.

    Установки могут эксплуатироваться при температуре окружающего воздуха от 10 °С до 35 °С, относительной влажности не более 80 % и атмосферном давлении от 84 кПа до 106,7 кПа.

    Электрическое питание установки должно соответствовать:

    • Напряжение, В 380/220;
    • Частота, Гц 50.
    • Качество электрической энергии по ГОСТ 13109.
    • Потребляемая мощность установки должна быть не более 3кВА

    Автоматическая система управления вакуумной частью ВН-2000 (-08), возможность визуального контроля электрических параметров блоков на цифровом табло, новая элементная база и возможность использования большего числа дополнительных аксессуаров позволяет значительно облегчить работу пользователя и расширить функциональные возможности установки.

    Устройство и принцип работы

    Установка выполнена в виде двух стоек - электрической и вакуумной. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными кабелями.

    В электрической стойке размещены:

    • блок распределительный;
    • блок питания высоковольтный;
    • блок трансформаторов;
    • блок управления;
    • пульт управления;
    • блок питания турбомолекулярного насоса БПТ-1000.

    В вакуумной стойке расположена вакуумная система. Кроме вакуумной системы в данной стойке расположены:

    • рабочий объем
    • система напуска газа в рабочий объем;
    • система водяного охлаждения турбомолекулярного насоса.

    В рабочий объем устанавливаются устройство для термического испарения и устройство осаждения пленок.

    Технические характеристики

    Установка обеспечивает предельное остаточное давление, Па

    5х10^-4

    Нагреватель в устройстве напыления обеспечивает температуру, не менее, °C

    300

    Время нагрева, не более, мин

    30

    Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя (без нагрузки), кВ

    0,5-4

    Предельное отклонение верхнего значения, кВ

    0,3

    Напряжение блока питания магнетрона постоянного тока (без нагрузки), не более, кВ

    1

    Максимальный ток блока питания магнетрона постоянного тока, мА

    300

    Максимальный ионный ток устройства ионного травления, мА

    100

    Установка обеспечивает откачку рабочей камеры с атмосферного давления до давления 2х10^-3 Па за время, не более, мин

    15

    Ток пучка электронного испарителя, мА

    0-200

    Ток накала электронно-лучевого испарителя, А

    2-10

    Ток источника резистивного испарителя 1, А

    5-200

    Ток источника резистивного испарителя 2, А

    3-50

    Габариты стойки аналитической, мм

    470х540х1600

    Габариты стойки электрической, мм

    610х630х1670

    Масса установки, кг

    350

    Установка вакуумного напыления ВН-2000 (-08) доставляются следующими ТК:

    • ТК Деловые линии
    • ПЭК
    • КИТ
    • Желдорэкспедиция
    • Почта России

    Стоимость доставки до терминала ТК - бесплатно

    Срок доставки в Москву - от 2 дней

    Рассчитать стоимости доставки в другой город можно по ссылке

    Добавить отзыв
    CAPTCHA
    Этот вопрос предназначен для проверки того, являетесь ли вы человеком, и для предотвращения автоматической рассылки спама.

Установка вакуумного напыления ВН-2000 (-08) в подборках товаров: