Приставка ПМР-3

Приставка магнетронного распыления ПМР-3 предназначена для модернизации ранее производимого вакуумного универсального моста ВУП-5 и научно-технического комплекса ВН-2000, при помощи которого при получают пленки из различных материалов.

Основные функции

Приставка ПМР-3 магнитного распыления обеспечивает выполнение следующих функций:

• Значительно высокую скорость осаждения;
• Возможность регулирования скорости осаждения в широких пределах;
• Универсальность процесса получения пленки сплавов, полупроводников и металлов;
• Поддержание соотношения компонентов в процессе распыления вещества сложного состава;
•  Адгезия подложки и пленки;
• Получение пленок чистых по составу;
• Распыление нескольких материалов. При этом не происходит разгерметизация объема;
• Обеспечение возможности изменения свойств и структуры пленок;
• Получение пленок малой толщины с низкой пористостью;
• Высокоэнергетическая эффективность процесса;
• Создание низкого теплового воздействия на обрабатываемую структуру;
• Для процесса травления и осаждения возможно использование широкого класса материалов.