Приставка ПМР-3

Категория: 

Приставка магнетронного распыления ПМР-3 предназначена для модернизации ранее производимого вакуумного универсального моста ВУП-5 и научно-технического комплекса ВН-2000, при помощи которого при получают пленки из различных материалов.

Основные функции

Приставка ПМР-3 магнитного распыления обеспечивает выполнение следующих функций:

  • Значительно высокую скорость осаждения;
  • Возможность регулирования скорости осаждения в широких пределах;
  • Универсальность процесса получения пленки сплавов, полупроводников и металлов;
  • Поддержание соотношения компонентов в процессе распыления вещества сложного состава;
  •  Адгезия подложки и пленки;
  • Получение пленок чистых по составу;
  • Распыление нескольких материалов. При этом не происходит разгерметизация объема;
  • Обеспечение возможности изменения свойств и структуры пленок;
  • Получение пленок малой толщины с низкой пористостью;
  • Высокоэнергетическая эффективность процесса;
  • Создание низкого теплового воздействия на обрабатываемую структуру;
  • Для процесса травления и осаждения возможно использование широкого класса материалов.
Технические характеристики

Наименование параметра

Значение

Вид устройства

Магнетронный распылитель (комплектующие оборудование)

Направление распыления

Сверху вниз

Напряжение питания, В

900

Максимальный потребляемый ток,
А

1

Диаметр мишени, мм

Ø80

Габаритные размеры, мм

 

распылитель

180х180х80

Блок питания

540х465х220